Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop

Zeiss Crossbeam 550

Mit dem Crossbeam 550 stellte Zeiss den Vertreter einer neuen Generation Fokussierter Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskope (FIB-REM) vor.

Zeiss Crossbeam 550

© Carl Zeiss AG

Mit dem Crossbeam 550 stellte Zeiss den Vertreter einer neuen Generation Fokussierter Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskope (FIB-REM) vor, der sich sowohl durch eine signifikant gesteigerte Auflösung für die Bildaufnahme und Materialcharakterisierung als auch eine erhöhte Geschwindigkeit bei der Probenbearbeitung auszeichnet.Mit dem Crossbeam 550 sollen Nanostrukturen gleichzeitig mit analytischen und bildgebenden Methoden untersucht werden können. Das Gerät erlaubt es, Proben simultan zu modifizieren und zu beobachten, was in schneller Probenpräparation und hohem Durchsatz resultieren soll.

Beste Bildqualität will das Crossbeam 550 sowohl in 2-D als auch 3-D liefern. Der neue Tandem-decel-Modus soll neben der gesteigerten Auflösung eine Maximierung des Bildkontrastes bei niedrigen Landeenergien ermöglichen. Mit der innovativen Gemini-II-Elektronenoptik kann laut Zeiss eine optimale Auflösung bei Niederspannung und gleichzeitig hohem Strahlstrom erreicht werden. Die FIB-Säule kombiniert den höchsten verfügbaren FIB-Strom von 100 nA mit dem neuen FastMill-Modus. Damit soll eine hoch präzise und noch effizientere Materialbearbeitung bei gleichzeitiger Bildgebung möglich sein. Der neue Prozess für automatisierte „emission recovery“ erhöht zudem die Bedienerfreundlichkeit und optimiert die FIB-Säule zusätzlich für reproduzierbare Ergebnisse bei Langzeit-experimenten. In den Lebenswissenschaften will das Crossbeam 550 mit einer erhöhten Auflösung bei niedrigen Beschleunigungsspannungen und einer hervorragenden Langzeitstabilität für 3-D-Tomographie überzeugen.

Weitere Informationen unter www.zeiss.com/crossbeam

 

Entnommen aus MTA Dialog 7/2017